在净化车间装修过程中,必须随时清扫灰尘,对隐蔽空间如吊顶和夹墙内部等做好清扫记录。对已安装高效过滤器的房间,不得进行有粉尘作业。应保护已完成的装饰工程表面,不得因撞击、踩踏、敲打、多水作业等造成板材凹陷、暗裂和表面装饰的污染。条密封胶嵌固时,净化车间哪家好,应将基槽内的杂质、污油剔除干净,并保持表面干燥。
塑料板材或卷材面层铺贴前应预先按规格大小、厚薄分类,板材或卷材与地面之间应满涂粘接剂,表面赶平,不得漏涂或残存空气。净化车间装修现场应保证良好的通风和照明,对于改建工程,应查明和切断原有电源及易燃、易爆和有毒气体管线后方可施工,对工艺生产过程中使用的腐蚀性液体应有安全防护措施。净化车间装修临时设置的设备入口不用时应封闭,防止尘土杂物进入。
净化车间主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,净化车间无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
乱流洁净室的主要特点是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的,洁净室截面比送风口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以,送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角,曲率半径很小,气流在室内不可能以单一方向流动,将会彼此撞击,将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是:突变流;非均匀流。
这比用紊流来描述乱流洁净室更确切。紊流主要决定于雷诺数,也就是主要受流速的影响,但是如果采用一个高效过滤器顶送的送风形式,则即使流速极低,也要产生上述各种结果,这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混,而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。